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【求助】多晶硅锭心部出现阴影的原因？
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| 请教各位虫友，我们使用国产多晶炉制备的多晶硅锭心部出现阴影，切割后的照片见附件，而同种原料在GT炉就没有阴影，我分析了一下，可能的原因，应该是心部长晶过快，而且温场分布不均匀，等温线过凸，导致心部出现应力集中，出现晶体扭曲现象。其他可能的原因有哪些呢？ |
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weiguo20133
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5楼2011-08-18 16:08:47
20