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【求助】多晶硅锭心部出现阴影的原因?
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| 请教各位虫友,我们使用国产多晶炉制备的多晶硅锭心部出现阴影,切割后的照片见附件,而同种原料在GT炉就没有阴影,我分析了一下,可能的原因,应该是心部长晶过快,而且温场分布不均匀,等温线过凸,导致心部出现应力集中,出现晶体扭曲现象。其他可能的原因有哪些呢? |
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