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[交流]
椭偏测试薄膜厚度和光学常数分析交流 已有4人参与
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椭圆偏振(椭偏)光谱技术仪是一种用于测量薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器,椭圆偏振光谱测试技术的测量精度高,适用于各种光学薄膜,金属薄膜,有机薄膜,以及复杂的多层膜,测试中与样品没有接触,是一种快速便捷的无损检测技术。国外主流的椭偏仪包括J A Woollam, Horiba Jobin Yvon, Sentech等,常用数据拟合软件包括CompleteEASE, DeltaPsi2等。 发一个技术交流帖子,感兴趣的朋友可以一起讨论模型分析,数据拟合等相关技术问题。 ![]() 关键字:椭偏,椭偏测试,椭偏仪,薄膜厚度,光学常数 |
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