| 查看: 890 | 回复: 2 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[交流]
SU-8前烘后表面凹凸不平 已有2人参与
|
|||
我在实验室用SU-8 2050做100um高的芯片，除湿和匀胶都没问题，并且匀胶后表面平整，但是按照chem的Protocol设置前烘后（65℃ 5min；95℃ 15min），观察到当温度升温到90℃左右时，硅片上的SU-8出现坑坑洼洼的情况。请问原理是什么，怎么改善。然后有推荐的做实验时的温湿度吗。是不是湿度大，会导致前烘出现坑洼。附图为情况较为好一些的，严重的上传一直失败。  1.jpg |
回复此楼» 猜你喜欢
院士团队-每届学生都优秀-高自由度-团队氛围好
已经有0人回复
-
求调剂
已经有3人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有258人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有26人回复
-
纺大化工学院（官方群）-院士团队招生-学生自由度高发展好-培养模式成熟
已经有0人回复
-
温州大学化材学院王娟课题组招生
已经有5人回复
-
学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟已有10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
武汉纺织大学化工学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
3楼2020-09-19 21:28:00
bobo201266
金虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1550.9
- 散金: 100
- 红花: 3
- 帖子: 418
- 在线: 20.9小时
- 虫号: 15108252
- 注册: 2019-05-16
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
2楼2020-09-19 13:13:46
