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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 工艺设计 » 硅湿法腐蚀
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太阳花_1

新虫 (小有名气)

[交流] 硅湿法腐蚀 已有1人参与

MEMS工艺方面，需要用过硅湿法腐蚀得到760um的方形槽，槽侧避须垂直，请大神给些建议谢谢

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1楼 2020-09-04 15:46:34
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
110晶向的硅片。
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2楼2020-09-07 16:26:20
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