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太阳花_1

新虫 (小有名气)

[交流] 硅湿法腐蚀 已有1人参与

MEMS工艺方面,需要用过硅湿法腐蚀得到760um的方形槽,槽侧避须垂直,请大神给些建议谢谢

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yswyx

专家顾问 (著名写手)


110晶向的硅片。
2楼2020-09-07 16:26:20
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