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海燕海燕15

新虫 (初入文坛)

[求助] 铁电薄膜求助

铁电薄膜:
请教各位大神,做HfO2铁电薄膜时,电极为TiN,出现强烈不对称,有哪些原因?
考虑过TiN制备工艺的差异,但是每次都出现这种状态,好诡异

铁电薄膜求助
PV.png


铁电薄膜求助-1
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821522850

新虫 (著名写手)

具有异质结构??
2楼2020-08-24 22:55:54
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海燕海燕15

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 821522850 at 2020-08-24 22:55:54
具有异质结构??

没有,是对称的电极。TiN/HZO/TiN
3楼2020-08-25 10:33:56
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