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海燕海燕15

新虫 (初入文坛)

[求助] 铁电薄膜求助

铁电薄膜：
请教各位大神，做HfO2铁电薄膜时，电极为TiN，出现强烈不对称，有哪些原因？
考虑过TiN制备工艺的差异，但是每次都出现这种状态，好诡异

铁电薄膜求助
PV.png


铁电薄膜求助-1
IV.png
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1楼 2020-08-20 16:35:53
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821522850

新虫 (著名写手)
具有异质结构？？
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2楼2020-08-24 22:55:54
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海燕海燕15

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 821522850 at 2020-08-24 22:55:54
具有异质结构？？

没有，是对称的电极。TiN/HZO/TiN
赞一下 回复此楼
3楼2020-08-25 10:33:56
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