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断肠飞龙铁杆木虫 (职业作家)
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[求助]
光刻技术
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光刻技术有没有可以刻出一系列几十微米的孔。什么基体都行。 发自小木虫Android客户端 |
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断肠飞龙
铁杆木虫 (职业作家)
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送红花一朵 3楼2020-08-06 23:00:32
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- 专业: 电化学
- 管辖: 有奖问答
【答案】应助回帖
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楼主答案是可以的。光刻技术目前精度已经到了纳米（国际领先7nm，国内已经突破28nm）尺度，所以你说的微米尺度就不是什么问题了。 另提醒两点： 首先，先要明白光刻的过程：光刻技术是指在光照作用下，借助光致抗蚀剂（又名光刻胶）将掩膜版上的图形转移到基片上的技术。其主要过程为：首先紫外光通过掩膜版照射到附有一层光刻胶薄膜的基片表面，引起曝光区域的光刻胶发生化学反应；再通过显影技术溶解去除曝光区域或未曝光区域的光刻胶（前者称正性光刻胶，后者称负性光刻胶），使掩膜版上的图形被复制到光刻胶薄膜上；最后利用刻蚀技术将图形转移到基片上。 其次，既然是做研究工作，还是要明确你要的具体目标，不能“什么基体都行”。方便楼下的虫子们跟贴回答。  祝科研坦途 |
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2楼2020-08-06 15:07:24
