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jianglina3280

金虫 (小有名气)

[交流] 【请教】分辨率与线宽的关系

请教:情问一下光刻胶中的分辨率、线宽是什么意思?
他们之间有什么关系吗?
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jianglina3280

金虫 (小有名气)

那请问2楼的,分辨率与线宽有什么关系吗?
我们平时所说的32nm节点指的事线宽还是分辨率呢?

[ Last edited by jianglina3280 on 2009-7-13 at 14:48 ]
4楼2009-07-13 14:47:26
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szqll

木虫 (小有名气)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
张甜(金币+1,VIP+0):欢迎交流 7-13 14:52
光刻分辨率是指通过光刻系统在半导体晶片表面能曝光的最小特征尺寸
2楼2009-07-13 14:14:12
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szqll

木虫 (小有名气)


闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢 7-15 10:46
线宽就是你想曝光的宽度
3楼2009-07-13 14:15:17
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szqll

木虫 (小有名气)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢 7-15 10:46
32nm节点指的是分辨率,分辨率越高,所能达到的线宽越小
5楼2009-07-14 08:14:35
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