24小时热门版块排行榜    

查看: 861  |  回复: 6
当前主题已经存档。

jianglina3280

金虫 (小有名气)

[交流] 【请教】分辨率与线宽的关系

请教:情问一下光刻胶中的分辨率、线宽是什么意思?
他们之间有什么关系吗?
回复此楼

» 猜你喜欢

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

szqll

木虫 (小有名气)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
张甜(金币+1,VIP+0):欢迎交流 7-13 14:52
光刻分辨率是指通过光刻系统在半导体晶片表面能曝光的最小特征尺寸
2楼2009-07-13 14:14:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

szqll

木虫 (小有名气)


闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢 7-15 10:46
线宽就是你想曝光的宽度
3楼2009-07-13 14:15:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jianglina3280

金虫 (小有名气)

那请问2楼的,分辨率与线宽有什么关系吗?
我们平时所说的32nm节点指的事线宽还是分辨率呢?

[ Last edited by jianglina3280 on 2009-7-13 at 14:48 ]
4楼2009-07-13 14:47:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

szqll

木虫 (小有名气)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢 7-15 10:46
32nm节点指的是分辨率,分辨率越高,所能达到的线宽越小
5楼2009-07-14 08:14:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jianglina3280

金虫 (小有名气)

请问2楼,那现在所说的Low-molecular-weight compounds是指什么样的物质呢?
6楼2009-07-15 10:45:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

szqll

木虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by jianglina3280 at 2009-7-15 10:45:
请问2楼,那现在所说的Low-molecular-weight compounds是指什么样的物质呢?

我不清楚你这个小分子化合物组分是哪里的概念,一般来说光刻胶的光敏剂中有一种小分子组分,在紫外线作用下会聚合成一种大分子
7楼2009-07-15 11:11:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 jianglina3280 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
信息提示
请填处理意见