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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【请教】分辨率与线宽的关系
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jianglina3280

金虫 (小有名气)

[交流] 【请教】分辨率与线宽的关系

请教：情问一下光刻胶中的分辨率、线宽是什么意思？
他们之间有什么关系吗？
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1楼 2009-07-13 09:29:25
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szqll

木虫 (小有名气)
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张甜(金币+1,VIP+0):欢迎交流 7-13 14:52
光刻分辨率是指通过光刻系统在半导体晶片表面能曝光的最小特征尺寸
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2楼2009-07-13 14:14:12
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szqll

木虫 (小有名气)
★
闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢 7-15 10:46
线宽就是你想曝光的宽度
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3楼2009-07-13 14:15:17
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jianglina3280

金虫 (小有名气)
那请问2楼的，分辨率与线宽有什么关系吗？
我们平时所说的32nm节点指的事线宽还是分辨率呢？

[ Last edited by jianglina3280 on 2009-7-13 at 14:48 ]
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4楼2009-07-13 14:47:26
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szqll

木虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢 7-15 10:46
32nm节点指的是分辨率,分辨率越高，所能达到的线宽越小
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5楼2009-07-14 08:14:35
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jianglina3280

金虫 (小有名气)
请问2楼，那现在所说的Low-molecular-weight compounds是指什么样的物质呢？
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6楼2009-07-15 10:45:21
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szqll

木虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by jianglina3280 at 2009-7-15 10:45:
请问2楼，那现在所说的Low-molecular-weight compounds是指什么样的物质呢？

我不清楚你这个小分子化合物组分是哪里的概念，一般来说光刻胶的光敏剂中有一种小分子组分，在紫外线作用下会聚合成一种大分子
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7楼2009-07-15 11:11:14
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