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txd1984

[交流] 如何测多晶体薄膜的晶向分布

我用磁控溅射金属诱导在诱导金属上镀了一层多晶硅薄膜,为了测其择优取向,先考虑薄膜上的晶向分布,就是想请教如何测薄膜的晶向分布如何测定,X射线衍射能不能测啊 ?谢谢
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