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如何测多晶体薄膜的晶向分布
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| 我用磁控溅射金属诱导在诱导金属上镀了一层多晶硅薄膜，为了测其择优取向，先考虑薄膜上的晶向分布，就是想请教如何测薄膜的晶向分布如何测定，X射线衍射能不能测啊 ？谢谢 |
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