【讨论】PDMS微流体芯片微通道的加工 - 微米和纳米 - 微纳加工

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Iris8581

新虫 (初入文坛)

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引用回帖:

Originally posted by courage at 2009-7-31 12:07:
我采用模塑法制作了15微米宽的通道（材质是PDMS），请问能否采用其它方法在此基础上将通道尺寸缩为10微米或更小？看到《微流控芯片实验室》（林炳承著）关于软光刻再铸模有这样的描述：“在PDMS上再铸模时，可以通 ...

我的理解是：
PDMS成片有弹性，两边施加压力可以将沟道压小，或者将沟道向内凹也应该可以得到尺寸小的沟道。
但是沟道具体变形后会不会均匀，就很难说了。

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21楼2009-12-29 21:44:18

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yydtiger

至尊木虫 (正式写手)

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请问能否采用其它方法在此基础上将通道尺寸缩为10微米或更小？

不知道你要求得尺度长度方向是多大的，如果较小的话，用AFM探针机械刻划的方法可以获得硅表面纳米尺度的沟槽亚，然后用PDMS压印的方法复制就可以了，不知道能不能满足要求，提个建议,hehe。

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22楼2010-03-06 10:28:04

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zeusshang

金虫 (小有名气)

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引用回帖:

Originally posted by courage at 2009-07-12 10:06:58:
想在PDMS上加工出非常细的微通道（小于10微米，如5、6微米），现有的soft lithography method很难实现，有没有好其它好的方法呢？谢谢

设计好图形，找个人帮你做个硅片的模板，然后复制就行了。
找对人了硅模板是很容易做的。

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微纳加工

23楼2010-03-08 16:40:13

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lovechem

木虫 (著名写手)

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学习了，，

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24楼2010-03-08 18:34:20

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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)

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一、使用光学光刻在光刻胶上制备出微通道，然后将PDMS胶体浇注到所制备的模板上，在90度中1小时，冷却后将固化的PDMS模板小心撕下来就OK。
二、使用激光刻蚀将微通道刻蚀到硅片或者其它基片上，然后将PDMS胶体浇注到得到的模板上，通过一种的步骤，得到所需的模板。
当然还可以通过其它的微细加工方法，先得到具有微通道的结构，然后将其图形复制到PDMS上。大家还有其它什么加工方式，互相交流哦呵呵

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没有做不到只有想不到

25楼2010-03-09 10:39:27

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