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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【讨论】PDMS微流体芯片微通道的加工
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courage

木虫 (正式写手)

[交流] 【讨论】PDMS微流体芯片微通道的加工

想在PDMS上加工出非常细的微通道（小于10微米，如5、6微米），现有的soft lithography method很难实现，有没有好其它好的方法呢？谢谢
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1楼 2009-07-12 10:06:58
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yydtiger

至尊木虫 (正式写手)
请问能否采用其它方法在此基础上将通道尺寸缩为10微米或更小？

不知道你要求得尺度长度方向是多大的，如果较小的话，用AFM探针机械刻划的方法可以获得硅表面纳米尺度的沟槽亚，然后用PDMS压印的方法复制就可以了，不知道能不能满足要求，提个建议,hehe。
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22楼2010-03-06 10:28:04
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navycheer

禁虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
本帖内容被屏蔽
2楼2009-07-13 07:27:47
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memser

一同关注中～～～～～
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3楼2009-07-13 08:31:46
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jingminl

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
memser(金币+2,VIP+0): 8-2 10:31
在硅片上制作一个5、6个微米尺度宽的线条，非常容易。用这个硅片做模具来复制PDMS就可以了，只不过需要加脱模剂，否则图形很难保证完好。
不知道lz是不是懂得什么是soft lithography？它不是要在PDMS上压出图形，而是用PDMS作为模板。
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4楼2009-07-13 13:37:31
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