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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【讨论】PDMS微流体芯片微通道的加工
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courage

木虫 (正式写手)

[交流] 【讨论】PDMS微流体芯片微通道的加工

想在PDMS上加工出非常细的微通道（小于10微米，如5、6微米），现有的soft lithography method很难实现，有没有好其它好的方法呢？谢谢
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1楼 2009-07-12 10:06:58
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

糊涂的snow

铜虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
一、使用光学光刻在光刻胶上制备出微通道，然后将PDMS胶体浇注到所制备的模板上，在90度中1小时，冷却后将固化的PDMS模板小心撕下来就OK。
二、使用激光刻蚀将微通道刻蚀到硅片或者其它基片上，然后将PDMS胶体浇注到得到的模板上，通过一种的步骤，得到所需的模板。
当然还可以通过其它的微细加工方法，先得到具有微通道的结构，然后将其图形复制到PDMS上。大家还有其它什么加工方式，互相交流哦 呵呵
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没有做不到只有想不到
25楼2010-03-09 10:39:27
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普通回帖

navycheer

禁虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
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2楼2009-07-13 07:27:47
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memser

一同关注中～～～～～
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3楼2009-07-13 08:31:46
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jingminl

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
memser(金币+2,VIP+0): 8-2 10:31
在硅片上制作一个5、6个微米尺度宽的线条，非常容易。用这个硅片做模具来复制PDMS就可以了，只不过需要加脱模剂，否则图形很难保证完好。
不知道lz是不是懂得什么是soft lithography？它不是要在PDMS上压出图形，而是用PDMS作为模板。
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4楼2009-07-13 13:37:31
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courage

木虫 (正式写手)
各位有没有尝试采用加热、冷却循环的方法实现微纳米通道的？如在PDMS上
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5楼2009-07-25 09:04:08
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michaeldi

银虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
我也正试着在硅片上做5-6微米的通道，但是做不出来，实验室条件跟不上，为什么 jingminl说很简单？
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6楼2009-07-25 15:19:34
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courage

木虫 (正式写手)
★ ★
memser(金币+2,VIP+0): 8-2 10:32
我采用模塑法制作了15微米宽的通道（材质是PDMS），请问能否采用其它方法在此基础上将通道尺寸缩为10微米或更小？看到《微流控芯片实验室》（林炳承著）关于软光刻再铸模有这样的描述：“在PDMS上再铸模时，可以通过机械压制、绑缚、拉紧或以上几种应变的结合，获得比原始印模更小的纳米尺寸......”，请问：各位有无相关的经验或给予详细的解释？
谢谢！
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7楼2009-07-31 12:07:23
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去日留痕
★
courage(金币+1):谢谢参与
8楼2009-08-01 12:49:54
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suifengpig

至尊木虫 (文坛精英)

猪猪家族之族长~~~

优秀版主
★
courage(金币+1):谢谢参与
对不起，您两次发表间隔少于 30 秒，请不要灌水
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ㄗs：┏──────────┓╭╮│......努力學習......做一个有知识的流氓~~~~│╭╯┗──┰────┰──┛
9楼2009-08-01 12:50:09
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lby1258

荣誉版主 (文学泰斗)

地~~低~~

优秀版主优秀版主优秀版主
★
courage(金币+1):谢谢参与

路过学习 ~~
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品若梅花香在骨，人如秋水玉为神
10楼2009-08-01 12:50:13
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