24小时热门版块排行榜    

CyRhmU.jpeg
查看: 2663  |  回复: 1

Calvin.

金虫 (小有名气)

[求助] 光刻工艺中显影液、剥离液、漂洗液的问题已有1人参与

之前没有接触过光刻的相关知识,现在刚开始了解 ,有很多问题。想咨询一下大家,光刻胶的显影液、剥离液以及漂洗液分别在光刻工艺中起什么作用,是不是光刻一定同时需要这三种液体呢,还是说可以单纯只用显影液?
实在是很不清楚,希望了解的朋友帮忙解释一下,谢谢了
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wfg0915

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
Calvin.: 金币+5, ★★★很有帮助 2020-05-22 11:53:36
显影液是涂胶后将曝光图形显现出来,显影完成后用漂洗液将残余的显影液去除,一般漂洗液为DIW(去离子水),显影完成后要做刻蚀,然后再用剥离液将光刻胶去除。
2楼2020-05-08 17:27:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 Calvin. 的主题更新
信息提示
请填处理意见