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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 复合材料 » 交流互助 » 光刻工艺中显影液、剥离液、漂洗液的问题
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Calvin.

金虫 (小有名气)

[求助] 光刻工艺中显影液、剥离液、漂洗液的问题 已有1人参与

之前没有接触过光刻的相关知识，现在刚开始了解 ，有很多问题。想咨询一下大家，光刻胶的显影液、剥离液以及漂洗液分别在光刻工艺中起什么作用，是不是光刻一定同时需要这三种液体呢，还是说可以单纯只用显影液？
实在是很不清楚，希望了解的朋友帮忙解释一下，谢谢了
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1楼 2020-05-08 14:11:28
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wfg0915

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
Calvin.: 金币+5, ★★★很有帮助 2020-05-22 11:53:36
显影液是涂胶后将曝光图形显现出来，显影完成后用漂洗液将残余的显影液去除，一般漂洗液为DIW（去离子水），显影完成后要做刻蚀，然后再用剥离液将光刻胶去除。
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2020-05-08 17:27:38
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