| 查看: 1538 | 回复: 2 | ||
moon.sun至尊木虫 (正式写手)
|
[求助]
旋涂工艺中的动态滴胶是什么操作？
|
| 在有机光伏材料中，制备薄膜的方法有旋涂法，旋涂法有静态滴胶和动态滴胶，动态滴胶是如何操作的？另外，多滴旋涂又是怎么回事？求大神指点迷津！ |
回复此楼» 猜你喜欢
求流动传热博导
已经有1人回复
-
犹他大学机械工程 Tianli Feng课题组博士生招生
已经有0人回复
-
电气科学与工程论文润色/翻译怎么收费?
已经有123人回复
-
仅有一篇一作相关文章，其余的都是通讯，好申请面上么？
已经有6人回复
-
water research重复率要求
已经有3人回复
-
SCI付款失败，付款按键消失，只显示Payment Fail
已经有1人回复
-
旋转定位精度不稳？从机械结构源头剖析实验台的精度瓶颈
已经有1人回复
-
工程热物理方向-考博-自荐
已经有0人回复
-
【讨论】实验设备旋转平台选型：蜗轮蜗杆、回转支撑还是凸轮滚子？
已经有0人回复
-
反应机理求助，帮忙画一下这个反应的反应机理
已经有2人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
2楼2021-02-04 11:59:07
|
静态滴胶就是简单地把光刻胶滴注到静止的基片表面的中心，滴胶量为1-10ml不等。滴胶的多少应根据光刻胶的粘度和基片的大小来确定。 ? 粘度比较高或基片比较大，往往需要滴较多的胶，以保证在高速旋转阶段整个基片上都涂到胶。动态滴胶方式是在基片低速(通常在500转/分左右)旋转的同时进行滴胶，“动态”的作用是让光刻胶容易在基片上铺展开，减少光刻胶的浪费，采用动态滴胶不需要很多光刻胶就能润湿(铺展覆盖)整个基片表面。 ? 尤其是当光刻胶或基片本身润湿性不好的情况下，动态滴胶尤其适用，不会产生针孔。 ? 滴胶之后，下一步是高速旋转。使光刻胶层变薄达到最终要求的膜厚，这个阶段的转速一般在1500-6000转/分，转速的选定同样要看光刻胶的性能(包括粘度，溶剂挥发速度，固体含量以及表面张力等)以及基片的大小。快速旋转的时间可以从10秒到几分钟。匀胶的转速以及匀胶时间往往能决定最终胶膜的厚度。 ? 一般来说，匀胶转速快，时间长，膜厚就薄。影响匀胶过程的可变因素很多，这些因素在匀胶时往往相互抵销并趋于平衡。所以给予匀胶过程以足够的时间，让诸多影响因素达到平衡。匀胶工艺中最重要的一个因素就是可重复性。微细的工艺参数变化会带来薄膜特性巨大的差异。 发自小木虫Android客户端 |
3楼2021-03-06 18:30:11