应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【请教】急问：器件加工的方法有哪些？谢了
61/1返回列表
查看: 547  |  回复: 5
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前主题已经存档。

xfwei

铜虫 (小有名气)

[交流] 【请教】急问：器件加工的方法有哪些？谢了

大家好，我做理论的了，想知道一些器件加工的专业术语，要完全点的。
比如样品生长技术：分子束外延(Molecular Beam Epitaxy,MBE) 方法和有机金属化学气相沉积技术(Metal Organic Chemical Vapor Deposition,MOCVD))。
那相应的器件加工技术有哪些啊？
谢了。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
初来乍到，多多关照。
1楼 2009-07-05 10:48:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

GrasaVampiro

专家顾问 (职业作家)

微信XGBerlin

优秀版主
★
dgf2008(金币+1,VIP+0):Good idea 7-5 18:59
first try wiki,baidu
赞一下(10人) 回复此楼
从此不问江湖事
2楼2009-07-05 10:52:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xfwei

铜虫 (小有名气)
★
dgf2008(金币+1,VIP+0):谢谢参与讨论 7-5 18:59
由于曝光束不同，刻蚀技术可以分为光刻蚀（简称光刻）、X射线刻蚀、电子束刻蚀和离子束刻蚀，其中离子束刻蚀具有分辨率高和感光速度快的优点，是正在开发中的新型技术。
thx
赞一下(10人) 回复此楼
初来乍到，多多关照。
3楼2009-07-05 11:11:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xfwei

铜虫 (小有名气)
★ ★
dgf2008(金币+2,VIP+0):谢谢参与讨论 7-5 18:59
　刻蚀技术（etching technique），是在半导体工艺中，按照掩模图形或设计要求对半导体衬底表面或表面覆盖薄膜进行选择性腐蚀或剥离的技术。
　　普通的刻蚀过程大致如下：先在表面涂敷一层光致抗蚀剂，然后透过掩模对抗蚀剂层进行选择性曝光，由于抗蚀剂层的已曝光部分和未曝光部分在显影液中溶解速度不同，经过显影后在衬底表面留下了抗蚀剂图形，以此为掩模就可对衬底表面进行选择性腐蚀。如果衬底表面存在介质或金属层，则选择腐蚀以后，图形就转移到介质或金属层上。
　　由于曝光束不同，刻蚀技术可以分为光刻蚀（简称光刻）、X射线刻蚀、电子束刻蚀和离子束刻蚀，其中离子束刻蚀具有分辨率高和感光速度快的优点，是正在开发中的新型技术。
　　刻蚀工艺不仅是半导体器件和集成电路的基本制造工艺，而且还应用于薄膜电路、印刷电路和其他微细图形的加工。
　　刻蚀还可分为湿法刻蚀和干法刻蚀。
赞一下(10人) 回复此楼
初来乍到，多多关照。
4楼2009-07-05 11:11:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jingminl

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
kqy920(金币+1,VIP+0):谢谢讨论 7-31 10:22
lift－off，电子束曝光，干刻，湿刻
赞一下(11人) 回复此楼
5楼2009-07-10 19:01:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

llggboat

木虫 (著名写手)

老中医
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
kqy920(金币+1,VIP+0):谢谢讨论 7-31 10:22
相当抽象哈，加工技术太多了，随便找本半导体加工技术的书就行了，
从衬底的清洗，光刻，显影，剥离，刻蚀，离子注入，介质电极沉积等n多步骤，所以很多工艺过程
赞一下(11人) 回复此楼
它山之石也是石
6楼2009-07-30 16:14:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 xfwei 的主题更新
61/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 调剂 +8 调剂的考研学生 2026-03-09 8/400 2026-03-15 22:14 by Winj1e
[考研] 0703化学调剂 290分有科研经历，论文在投 +3 腻腻gk 2026-03-14 3/150 2026-03-15 17:28 by 小物理化学
[考研] 268求调剂 +5 一定有学上- 2026-03-14 6/300 2026-03-14 22:20 by 运气yunqi
[考研] 283求调剂 +6 小楼。 2026-03-12 9/450 2026-03-14 22:15 by cfxczx2015
[考研] 265求调剂 +4 威化饼07 2026-03-12 4/200 2026-03-14 17:23 by userper
[考研] 290求调剂 +4 @将就将就看 2026-03-10 8/400 2026-03-14 14:23 by 千千运气
[考研] 材料080500调剂求收留 +3 一颗meteor 2026-03-13 3/150 2026-03-14 10:54 by peike
[考研] 308 085701 四六级已过求调剂 +7 温乔乔乔乔 2026-03-12 14/700 2026-03-14 10:49 by JourneyLucky
[考研] 考研材料与化工，求调剂 +8 戏精丹丹丹 2026-03-09 8/400 2026-03-14 01:14 by JourneyLucky
[考研] 265求调剂 +9 小木虫085600 2026-03-09 12/600 2026-03-14 01:11 by JourneyLucky
[考研] 一志愿湖师大化学289求调剂 +6 XMCMM3.14159 2026-03-10 6/300 2026-03-14 00:28 by JourneyLucky
[考研] 321求调剂 +3 CUcat 2026-03-10 3/150 2026-03-14 00:25 by JourneyLucky
[考研] 泣血叩求调剂恩，愿以丹心报师恩 +6 Iuruoh 2026-03-11 6/300 2026-03-13 22:06 by JourneyLucky
[考研] ［0860］321分求调剂，ab区皆可 +4 宝贵热 2026-03-13 4/200 2026-03-13 22:01 by 星空星月
[考研] 332求调剂 +3 Zz版 2026-03-13 3/150 2026-03-13 20:36 by 18595523086
[硕博家园] 085600 260分求调剂 +3 天空还下雨么 2026-03-13 5/250 2026-03-13 18:46 by 天空还下雨么
[考研] 277求调剂 +4 anchor17 2026-03-12 4/200 2026-03-13 11:15 by 白夜悠长
[考研] 289求调剂 +3 李政莹 2026-03-12 3/150 2026-03-13 11:02 by 求调剂zz
[考研] 调剂 +5 呵唔哦豁 2026-03-10 5/250 2026-03-10 22:00 by 28375m
[考研] 求调剂材料专硕293 +6 段_(:з」∠)_ 2026-03-10 6/300 2026-03-10 18:22 by ms629
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭