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华为mate30

新虫 (小有名气)


已领完
请问磁控溅射镀膜的厚度误差可以控制到多少呢?
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比如我想要200nm 一般 能镀到多少呢?  190?  谢谢   生长速率恒定嘛?

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华为mate30

新虫 (小有名气)


11楼2020-03-20 22:14:23
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
看你calibration控制的多好了,镀一批不同参数时间的看截面,确定最佳参数厚度

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13楼2020-03-21 10:57:40
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海棠&眠

铁虫 (小有名气)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
不知道磁控能不能配合Rheed使用 如果可以用的话 那么可以精确到1uc

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14楼2020-03-21 23:20:55
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weok773楼
2020-03-20 20:49   回复  
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zhyf198612楼
2020-03-20 22:50   回复  
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Jerry78874楼
2020-03-20 20:51   回复  
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时光10楼
2020-03-20 21:41   回复  
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luhe5219楼
2020-03-20 21:36   回复  
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lurem12306楼
2020-03-20 21:26   回复  
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伽鲁特8楼
2020-03-20 21:30   回复  
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2020-03-20 21:30   回复  
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2020-03-20 20:46   回复  
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化学儿5楼
2020-03-20 21:03   回复  
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