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华为mate30

新虫 (小有名气)


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请问磁控溅射镀膜的厚度误差可以控制到多少呢?
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比如我想要200nm 一般 能镀到多少呢?  190?  谢谢   生长速率恒定嘛?

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海棠&眠

铁虫 (小有名气)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
不知道磁控能不能配合Rheed使用 如果可以用的话 那么可以精确到1uc

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14楼2020-03-21 23:20:55
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华为mate30

新虫 (小有名气)


11楼2020-03-20 22:14:23
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
看你calibration控制的多好了,镀一批不同参数时间的看截面,确定最佳参数厚度

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13楼2020-03-21 10:57:40
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
没有在线测量的情况下,只能根据经验来定时间。你这种厚度,一般正常的商业设备,3%以内还是能做到的。实验室的设备,要看具体谁家的设备,还有谁来用,比较没谱。
15楼2020-03-23 16:29:45
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CF_W

铁虫 (初入文坛)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
一般控制在3%以内吧,好的操作基本上200无差距
16楼2020-03-31 15:14:12
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工艺混子

新虫 (小有名气)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
15楼: Originally posted by yswyx at 2020-03-23 16:29:45
没有在线测量的情况下,只能根据经验来定时间。你这种厚度,一般正常的商业设备,3%以内还是能做到的。实验室的设备,要看具体谁家的设备,还有谁来用,比较没谱。

大神,我想做个50微米的氧化铝或者二氧化硅,有什么方法可以推荐吗

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17楼2020-04-26 23:48:36
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简单回复
2020-03-20 20:46   回复  
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weok773楼
2020-03-20 20:49   回复  
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Jerry78874楼
2020-03-20 20:51   回复  
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化学儿5楼
2020-03-20 21:03   回复  
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lurem12306楼
2020-03-20 21:26   回复  
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2020-03-20 21:30   回复  
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伽鲁特8楼
2020-03-20 21:30   回复  
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luhe5219楼
2020-03-20 21:36   回复  
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时光10楼
2020-03-20 21:41   回复  
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zhyf198612楼
2020-03-20 22:50   回复  
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