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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 请问磁控溅射镀膜的厚度误差可以控制到多少呢？
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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新虫 (小有名气)
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请问磁控溅射镀膜的厚度误差可以控制到多少呢？
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比如我想要200nm 一般 能镀到多少呢？  190？  谢谢   生长速率恒定嘛？

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1楼 2020-03-20 20:46:04
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海棠&眠

铁虫 (小有名气)
★
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不知道磁控能不能配合Rheed使用 如果可以用的话 那么可以精确到1uc

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14楼2020-03-21 23:20:55
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华为mate30

新虫 (小有名气)
看样子没人理我啊

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11楼2020-03-20 22:14:23
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
★
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看你calibration控制的多好了，镀一批不同参数时间的看截面，确定最佳参数厚度

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13楼2020-03-21 10:57:40
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
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没有在线测量的情况下，只能根据经验来定时间。你这种厚度，一般正常的商业设备，3%以内还是能做到的。实验室的设备，要看具体谁家的设备，还有谁来用，比较没谱。
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15楼2020-03-23 16:29:45
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CF_W

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
一般控制在3%以内吧，好的操作基本上200无差距
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16楼2020-03-31 15:14:12
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工艺混子

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
15楼: Originally posted by yswyx at 2020-03-23 16:29:45
没有在线测量的情况下，只能根据经验来定时间。你这种厚度，一般正常的商业设备，3%以内还是能做到的。实验室的设备，要看具体谁家的设备，还有谁来用，比较没谱。

大神，我想做个50微米的氧化铝或者二氧化硅，有什么方法可以推荐吗

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17楼2020-04-26 23:48:36
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秋土豆香2楼
2020-03-20 20:46   回复  
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weok773楼
2020-03-20 20:49   回复  
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Jerry78874楼
2020-03-20 20:51   回复  
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化学儿5楼
2020-03-20 21:03   回复  
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lurem12306楼
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chenrk-buct7楼
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伽鲁特8楼
2020-03-20 21:30   回复  
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luhe5219楼
2020-03-20 21:36   回复  
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时光10楼
2020-03-20 21:41   回复  
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zhyf198612楼
2020-03-20 22:50   回复  
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