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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 【求助】用过Agilent 4155C半导体参数测试仪的请帮忙
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miraclebelie

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】用过Agilent 4155C半导体参数测试仪的请帮忙

用过Agilent 4155C半导体参数测试仪的请帮忙

请问用这个仪器能否用四探针法测方块电阻？具体的四个探针应该怎样设？
万分感谢您的帮忙与关注！
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1楼 2009-07-02 12:57:40
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tan-tt

木虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★
miraclebelie(金币+2,VIP+0):十分感谢你的回复，我还有些问题，四个探针是排成一条线还是方块，还有，你能否把四个探针具体参数设置拍张照发给我，我们课题组之前都没人用过那功能，我摸索了几次也没成功，十分希望你能帮我这个忙，我的邮箱是gaoyan8533@gmail.com,能否帮具体参数设置拍张照发给我，谢谢 7-7 12:19
zt970831(金币+2,VIP+0):感谢您的交流 7-10 21:00
可以，里面有一个SHEET模块，可以测方块电阻。不过要注意用SMUt作为电流源，用VMU来监测电压。
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2楼2009-07-07 08:48:24
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miraclebelie

金虫 (正式写手)
我用1，4探针加电流，2，3探针测电压，具体该怎么设？谢谢
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3楼2009-07-07 12:20:34
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tan-tt

木虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★ ★ ★
miraclebelie(金币+1,VIP+0):十分感谢你的应助，我看了下，我们的1~4都接到SMU上了，难怪我怎么试都不对。还有个问题，VMU应该怎样设为相对地的电势？软件里只有Measure有两个选项，一个是voltage，一个是Dvolt，应该用哪一个呢？ 7-9 20:50
zt970831(金币+5,VIP+0):感谢您的交流 7-10 21:00
这个说起来，还有点复杂，机箱后面有四个SMU单元，两个VMU单元，2，3探针测电压时，用VMU，1，4用SMU中的电流激发。1，4设置很简单，就是普通的一个sweep，一个common。2，3设置，两个VMU有两种情况。有一种测的2，3点相对于地的电势，然后要将这两个电势相减，最后得到2，3点的电压。有一种是让一个点相当于接地，另一个点的电势就是二者的电压。不过似乎采用前面那种接法比较好。因为，我最近不在实验室，所以没办法给你拍照片了。
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4楼2009-07-09 17:27:08
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miraclebelie

金虫 (正式写手)
十分感谢你的应助，我看了下，我们的1~4都接到SMU上了，难怪我怎么试都不对。还有个问题，VMU应该怎样设为相对地的电势？软件里只有Measure有两个选项，一个是voltage，一个是Dvolt，应该用哪一个呢？
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5楼2009-07-09 20:50:29
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tan-tt

木虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
如果没记错的话应该是voltage，然后二者相减是电压。很好验证，如果一个设Dvolt，另一个VMU的参数应该就不能修改了，这就是二者的电势差。
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6楼2009-07-10 09:26:02
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miraclebelie

金虫 (正式写手)
十分感谢你的帮助！！！帮我解决了一个大问题，谢谢
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7楼2009-07-10 14:16:36
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