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miraclebelie

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】用过Agilent 4155C半导体参数测试仪的请帮忙

用过Agilent 4155C半导体参数测试仪的请帮忙

请问用这个仪器能否用四探针法测方块电阻?具体的四个探针应该怎样设?
万分感谢您的帮忙与关注!
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miraclebelie

金虫 (正式写手)

十分感谢你的帮助!!!帮我解决了一个大问题,谢谢
7楼2009-07-10 14:16:36
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tan-tt

木虫 (小有名气)

★ ★ ★ ★
miraclebelie(金币+2,VIP+0):十分感谢你的回复,我还有些问题,四个探针是排成一条线还是方块,还有,你能否把四个探针具体参数设置拍张照发给我,我们课题组之前都没人用过那功能,我摸索了几次也没成功,十分希望你能帮我这个忙,我的邮箱是gaoyan8533@gmail.com,能否帮具体参数设置拍张照发给我,谢谢 7-7 12:19
zt970831(金币+2,VIP+0):感谢您的交流 7-10 21:00
可以,里面有一个SHEET模块,可以测方块电阻。不过要注意用SMUt作为电流源,用VMU来监测电压。
2楼2009-07-07 08:48:24
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miraclebelie

金虫 (正式写手)

我用1,4探针加电流,2,3探针测电压,具体该怎么设?谢谢
3楼2009-07-07 12:20:34
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tan-tt

木虫 (小有名气)

★ ★ ★ ★ ★ ★
miraclebelie(金币+1,VIP+0):十分感谢你的应助,我看了下,我们的1~4都接到SMU上了,难怪我怎么试都不对。还有个问题,VMU应该怎样设为相对地的电势?软件里只有Measure有两个选项,一个是voltage,一个是Dvolt,应该用哪一个呢? 7-9 20:50
zt970831(金币+5,VIP+0):感谢您的交流 7-10 21:00
这个说起来,还有点复杂,机箱后面有四个SMU单元,两个VMU单元,2,3探针测电压时,用VMU,1,4用SMU中的电流激发。1,4设置很简单,就是普通的一个sweep,一个common。2,3设置,两个VMU有两种情况。有一种测的2,3点相对于地的电势,然后要将这两个电势相减,最后得到2,3点的电压。有一种是让一个点相当于接地,另一个点的电势就是二者的电压。不过似乎采用前面那种接法比较好。因为,我最近不在实验室,所以没办法给你拍照片了。
4楼2009-07-09 17:27:08
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