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shp

金虫 (正式写手)

应助: 0 (幼儿园)
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注册: 2006-03-29
性别: MM
专业: 材料物理与化学

[交流] 【求助】制绒机理

向各位大侠请教:
单晶硅碱法制绒机理除了背面键理论即(100)与(111)腐蚀速率的差异外,还有一个电化学腐蚀机理,这方面了解的很少,请大家帮忙解释一下或是提供一些文献哦,谢谢啦

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西南交通大学国家级人才团队2026年博士研究生招生（考核制）—机械、材料、力学方向已经有3人回复

1楼 2009-06-29 20:36:05

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

Sahnrain

铁杆木虫 (正式写手)

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应助: 5 (幼儿园)
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性别: GG
专业: 半导体光电子器件

★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
zt970831(金币+2,VIP+0):感谢您的交流 6-29 22:28

Seidel 于1990 年提出了目前最具说服力的电化学模型。电化学模型认为各向异性腐蚀是由于硅表面悬挂键密度和背键结构、能级不同而引起的;并认同Palik 在其论文中所沦述的OH- 是此反应的主要反应物。电化学模型认为电子在Si —Si 背键上和导带之间的能量差主要与激活能有关。对KOH 溶液激活能大约为0. 6 eV ,对整个反应而言是速率控制的;而对EPW溶液激活能大约为0. 4 eV ,则该步骤是扩散控制的反应。