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蒙毅大将军

禁虫 (著名写手)
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1楼 2020-02-22 20:33:39
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
直接选择ICP进行刻蚀，RIE侧向还是比较严重的。如果硬要调RIE的横向，那就要增加偏压，把物理轰击提高。
赞一下 回复此楼
2楼2020-02-25 20:17:18
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