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蒙毅大将军

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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
直接选择ICP进行刻蚀,RIE侧向还是比较严重的。如果硬要调RIE的横向,那就要增加偏压,把物理轰击提高。
2楼2020-02-25 20:17:18
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