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jane_stony

新虫 (初入文坛)

[求助] EDS点扫的有效测量面积最小是多少啊 已有2人参与

之前测了EDS,其中有一个打点的区域宽0.1μm长0.5μm左右,打出来成分和预期差得有点大,所以想知道这个点有没有小过EDS点扫的有效测量面积,会不会扫到边上的相了?
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hdwcbz

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
SEM的EDS 本来就有穿透深度的,以轻元素为例在5kV的加速电压下探测深度可以接近400 nm。如果只是进行表面元素的定量分析, 那么XPS 肯定靠谱很多
idea
6楼2020-02-07 17:57:23
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
扫描还是透射,扫描很有可能信号主要来源于深层的区域而不是表面
2楼2020-02-05 17:46:28
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yinweisteel

新虫 (正式写手)

EDS能谱打点要求高的计数率,定量才准。而为了高的计数率,需要选择高的加速电压。加速电压越大,相对原子质量越小,打得梨形区深度越深,最深5微米,所以基本上1微米打薄层定量就不准,并且EDS 非准确定量工具,它是快速定量准确的工具,讲究的是快速,定量并不准确!!

发自小木虫IOS客户端
3楼2020-02-05 18:25:24
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jane_stony

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2020-02-05 17:46:28
扫描还是透射,扫描很有可能信号主要来源于深层的区域而不是表面

是扫描,看截面的金属间化合物的,意思是这种大小的面积EDS点扫是可以扫的只是测到的不完全是表面的成分?
4楼2020-02-05 19:36:11
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