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jane_stony新虫 (初入文坛)
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EDS点扫的有效测量面积最小是多少啊 已有2人参与
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| 之前测了EDS，其中有一个打点的区域宽0.1μm长0.5μm左右，打出来成分和预期差得有点大，所以想知道这个点有没有小过EDS点扫的有效测量面积，会不会扫到边上的相了？ |
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jane_stony
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4楼2020-02-05 19:36:11
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2楼2020-02-05 17:46:28
yinweisteel
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EDS能谱打点要求高的计数率，定量才准。而为了高的计数率，需要选择高的加速电压。加速电压越大，相对原子质量越小，打得梨形区深度越深，最深5微米，所以基本上1微米打薄层定量就不准，并且EDS 非准确定量工具，它是快速定量准确的工具，讲究的是快速，定量并不准确！！ 发自小木虫IOS客户端 |
3楼2020-02-05 18:25:24
gxytju2008
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【答案】应助回帖
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我不确定你做的点扫描是这个意思，不过肯定是能实现的，就是在一个区域连续扫描采谱线就是了，和扫mapping最后拿出来谱线分析完全是一个意思其实，扫描电镜能谱信号绝大部分都是深层几微米以上的范围贡献的，表面nm级别贡献是非常小的 发自小木虫Android客户端 |
5楼2020-02-06 00:46:52
