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磁控溅射要怎么实现高产量啊
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jgvkfddsg
铁虫
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专业: 半导体材料
[交流]
磁控溅射要怎么实现高产量啊
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如果是1m×1m的薄膜磁控溅射怎么量产啊,有人了解么
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1楼
2020-01-13 13:09:00
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Qiangd1989
木虫
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沙发: 6
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虫号: 2158698
注册: 2012-12-01
专业: 半导体材料
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
靶材面积大就可以啊,溅射算是半导体工业最常见的工艺了
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6楼
2020-05-05 22:37:02
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autom123
木虫
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性别: GG
专业: 金属结构材料
这个应该不难
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无色的茶
2楼
2020-01-13 13:24:46
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muxi126
木虫
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注册: 2012-11-10
性别: GG
专业: 半导体材料
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
现在工厂量产都是3.3m*6m的
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» 本帖已获得的红花(最新10朵)
Zhao.cf
尽人事,听天命。
3楼
2020-01-13 14:32:10
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巴蒂315
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性别: GG
专业: 无机非金属材料
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
很简单吧,现在8.5代线都有了
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男子汉,拿得起,放得下,真性情,大丈夫!
4楼
2020-01-13 15:31:16
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