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jgvkfddsg

铁虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射要怎么实现高产量啊 已有5人参与

如果是1m×1m的薄膜磁控溅射怎么量产啊,有人了解么
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autom123

木虫 (正式写手)

无色的茶
2楼2020-01-13 13:24:46
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muxi126

木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
现在工厂量产都是3.3m*6m的

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» 本帖已获得的红花(最新10朵)

尽人事,听天命。
3楼2020-01-13 14:32:10
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巴蒂315

木虫 (职业作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
很简单吧,现在8.5代线都有了

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男子汉,拿得起,放得下,真性情,大丈夫!
4楼2020-01-13 15:31:16
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Zhao.cf

新虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
送红花一朵
引用回帖:
3楼: Originally posted by muxi126 at 2020-01-13 14:32:10
现在工厂量产都是3.3m*6m的

现在工厂都能做的这么大吗,实验室做出来的样品都是以cm为单位的。。。是哪里不一样啊,基座吗?

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5楼2020-01-21 08:35:49
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Qiangd1989

木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
靶材面积大就可以啊,溅射算是半导体工业最常见的工艺了

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6楼2020-05-05 22:37:02
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