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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】GaN湿法刻蚀 涉及哪些化学反应
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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yguangrui

铁虫 (小有名气)

[交流] 【求助】GaN湿法刻蚀 涉及哪些化学反应

请教各位：
       GaN湿法刻蚀，涉及哪些化学反应，急需帮助，谢谢。
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1楼 2009-06-24 11:30:59
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元小雪

木虫 (职业作家)
看你是用什么来刻蚀了
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无聊的博士
2楼2009-06-24 11:45:19
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yguangrui

铁虫 (小有名气)
回元小雪：
HCl H3PO4 KOH BOE等等，你可以随便找一个谈论。我需要帮助。
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3楼2009-06-24 12:25:17
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
GaN与碱的反应：
2GaN＋6H＋＋6OHˉ→ Ga2O3＋3H2O＋N2↑
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没有困难创造困难也要上网。
4楼2009-06-26 15:47:32
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
更正：上式中的H＋应为h＋（表示空穴，＋为上标）
赞一下(1人) 回复此楼
没有困难创造困难也要上网。
5楼2009-06-26 15:52:42
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