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yguangrui

铁虫 (小有名气)

[交流] 【求助】GaN湿法刻蚀 涉及哪些化学反应

请教各位:
       GaN湿法刻蚀,涉及哪些化学反应,急需帮助,谢谢。
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元小雪

木虫 (职业作家)

看你是用什么来刻蚀了
无聊的博士
2楼2009-06-24 11:45:19
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yguangrui

铁虫 (小有名气)

回元小雪:
HCl H3PO4 KOH BOE等等,你可以随便找一个谈论。我需要帮助。
3楼2009-06-24 12:25:17
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
GaN与碱的反应:
2GaN+6H++6OHˉ→ Ga2O3+3H2O+N2↑
没有困难创造困难也要上网。
4楼2009-06-26 15:47:32
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
更正:上式中的H+应为h+(表示空穴,+为上标)
没有困难创造困难也要上网。
5楼2009-06-26 15:52:42
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