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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 【求助】台阶仪与原子力显微镜功能优劣比较
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Allay2006

银虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】台阶仪与原子力显微镜功能优劣比较

各位高手，小妹请教：
    因为想要获得薄膜的表面形貌，从性价比来说，请问台阶仪和原子力显微镜哪款仪器更适合呢？理由？
    感觉台阶仪和原子力显微镜都可以测表面形貌，那区别在哪里呢？精度问题？还是台阶仪只能测二维形貌，可查了查，有的台阶仪也可以测三维形貌呀，因未见过台阶仪测试出来的样品图片，热心人能否提供，不胜感谢，感激涕零！
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1楼 2009-06-23 10:25:47
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上大纳米

★
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你说的台阶仪我没听说过，不过原子力显微镜我们所里倒是有一台，可以测试薄膜的三维结构
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2楼2009-06-23 10:54:18
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navycheer

禁虫 (正式写手)
★ ★
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jason168(金币+1,VIP+0):鼓励交流 6-23 17:39
本帖内容被屏蔽
3楼2009-06-23 11:12:54
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wudong863

金虫 (小有名气)

Coatingtech
★ ★
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jason168(金币+1,VIP+0):鼓励交流 6-23 17:39
没见过谁发文章用台阶仪的图像了哦。台阶仪的图像很模糊，一般是定位用的。
AFM就不用说了，三维形貌显而易见。放大倍数比台阶仪大多了
好的AFM,比如VECCO的是可以看原子像的。
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材料分析测试技术群：101717240。
4楼2009-06-23 17:13:45
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vivilee3609

铜虫 (初入文坛)

台阶仪可以测3D

★ ★
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jason168(金币+1,VIP+0):鼓励交流 6-23 17:39
profiler        Horizontal(X- Y size)        Vertical (Z size)         Note
光学轮廓仪        〉13μm        Unlimited       
P16+台阶仪        〉2μm        <150μm       
AFM        Nano level        <2μm       

台阶仪一般测试微米级的样品，根据配置，可以测试几时纳米到数百纳米，精度可以到0.001埃量级；AFM测试纳米级样品。两者均可测3D，但精度不同。
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5楼2009-06-23 17:25:12
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wuweijwt

金虫 (正式写手)
★ ★ ★
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大笨猪和聪明羊(金币+2,VIP+0): 6-23 21:52
台阶仪和AFM我都用过，台阶仪在高度方向上的精度可达nm甚至埃级，但是在x，y方向的精度较低，大概在微米级到亚微米级，其相对于AFM的最大优势在于，它的扫描范围可以很大，我曾经扫描过一个4寸的硅片；

AFM的精度比台阶仪要高，但是最大的劣势在于扫描范围太小，我用的AFM最大扫面范围为90um*90um
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6楼2009-06-23 21:47:57
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memser

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
测量较大面积的表面形貌不适合采用台阶仪，可以使用表面轮廓仪，或者叫三维形貌仪，如Veeco，但是要选择PSI模式，VSI模式精度不能达到纳米级。缺点是不能测量透明薄膜，此外VYKY公司也有台阶仪的产品。前者利用光的干涉原理，后者直接探针接触式。AFM的觉得就不介绍了。
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7楼2009-06-23 22:20:17
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