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Allay2006

银虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】台阶仪与原子力显微镜功能优劣比较

各位高手,小妹请教:
    因为想要获得薄膜的表面形貌,从性价比来说,请问台阶仪和原子力显微镜哪款仪器更适合呢?理由?
    感觉台阶仪和原子力显微镜都可以测表面形貌,那区别在哪里呢?精度问题?还是台阶仪只能测二维形貌,可查了查,有的台阶仪也可以测三维形貌呀,因未见过台阶仪测试出来的样品图片,热心人能否提供,不胜感谢,感激涕零!
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上大纳米


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
你说的台阶仪我没听说过,不过原子力显微镜我们所里倒是有一台,可以测试薄膜的三维结构
2楼2009-06-23 10:54:18
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navycheer

禁虫 (正式写手)

★ ★
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jason168(金币+1,VIP+0):鼓励交流 6-23 17:39
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3楼2009-06-23 11:12:54
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wudong863

金虫 (小有名气)

Coatingtech

★ ★
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jason168(金币+1,VIP+0):鼓励交流 6-23 17:39
没见过谁发文章用台阶仪的图像了哦。台阶仪的图像很模糊,一般是定位用的。
AFM就不用说了,三维形貌显而易见。放大倍数比台阶仪大多了
好的AFM,比如VECCO的是可以看原子像的。
材料分析测试技术群:101717240。
4楼2009-06-23 17:13:45
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vivilee3609

铜虫 (初入文坛)

台阶仪可以测3D

★ ★
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jason168(金币+1,VIP+0):鼓励交流 6-23 17:39
profiler        Horizontal(X- Y size)        Vertical (Z size)         Note
光学轮廓仪        〉13μm        Unlimited       
P16+台阶仪        〉2μm        <150μm       
AFM        Nano level        <2μm       

台阶仪一般测试微米级的样品,根据配置,可以测试几时纳米到数百纳米,精度可以到0.001埃量级;AFM测试纳米级样品。两者均可测3D,但精度不同。
5楼2009-06-23 17:25:12
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wuweijwt

金虫 (正式写手)

★ ★ ★
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大笨猪和聪明羊(金币+2,VIP+0): 6-23 21:52
台阶仪和AFM我都用过,台阶仪在高度方向上的精度可达nm甚至埃级,但是在x,y方向的精度较低,大概在微米级到亚微米级,其相对于AFM的最大优势在于,它的扫描范围可以很大,我曾经扫描过一个4寸的硅片;

AFM的精度比台阶仪要高,但是最大的劣势在于扫描范围太小,我用的AFM最大扫面范围为90um*90um
6楼2009-06-23 21:47:57
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memser


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
测量较大面积的表面形貌不适合采用台阶仪,可以使用表面轮廓仪,或者叫三维形貌仪,如Veeco,但是要选择PSI模式,VSI模式精度不能达到纳米级。缺点是不能测量透明薄膜,此外VYKY公司也有台阶仪的产品。前者利用光的干涉原理,后者直接探针接触式。AFM的觉得就不介绍了。
7楼2009-06-23 22:20:17
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