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water_ice

银虫 (著名写手)

应助: 1 (幼儿园)
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专业: 半导体材料

[交流] 【请教】TEM测试对样品的要求怎样？

硅片上面长几十纳米的薄膜材料，通过TEM看截面，不知道对样品大小要求如何，以及如果硅片背面长有几百纳米金属电极，是否可以？

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1楼 2009-06-15 08:53:29

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

shyanbama

应助: (幼儿园)
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★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
ufoer(金币+1,VIP+0):3x 7-27 08:40

引用回帖:

Originally posted by lilanyan at 2009-6-18 21:10:
通常都是把试样置于有支持膜的截网上（一般截网是直径为3nm左右，厚度为25~50um的多孔铜网），然后放入电镜中观察，所用的膜必须很薄和均匀，当需要高放大倍数时，可采用碳膜作为支持膜。为获得更清晰的图像，可进 ...

（一般截网是直径为3mm微米左右，），