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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【请教】TEM测试对样品的要求怎样？
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water_ice

银虫 (著名写手)

[交流] 【请教】TEM测试对样品的要求怎样？

硅片上面长几十纳米的薄膜材料，通过TEM看截面，不知道对样品大小要求如何，以及如果硅片背面长有几百纳米金属电极，是否可以？
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1楼 2009-06-15 08:53:29
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hand1980

★ ★
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ufoer(金币+1,VIP+0):3x 7-27 08:40
做肯定是可以的，但通常截面样品制样都是比较难的，需要很有经验，你一定要看截面吗，你也可以想办法把膜取下来捞铜网上看，我们最近试了一种方法做薄膜样品比截面样好些，如果有兴趣可以探讨一下
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5楼2009-06-18 21:45:47
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li1cai2fu3

至尊木虫 (知名作家)
★ ★
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闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢交流 6-15 10:54
没有什么特别的要求，就是截面样品，但是你要粘在铜环上的吧，你的硅片有多厚啊？只要电极材料不影响你的样品就没问题，什么电极材料啊？有没有磁性，有磁性的话最好把他搞掉！
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2楼2009-06-15 10:46:51
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lyf2225

金虫 (小有名气)
★ ★
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闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢交流 6-18 17:50
做这种Cross－Section样品很很难的，对粘后切割，磨片，切成直径3mm圆片，粘到钼环上进行离子减薄
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3楼2009-06-18 17:40:45
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lilanyan

铜虫 (初入文坛)
★ ★ ★
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闪闪红心(金币+2,VIP+0):谢谢 7-24 09:13
通常都是把试样置于有支持膜的截网上（一般截网是直径为3nm左右，厚度为25~50um的多孔铜网），然后放入电镜中观察，所用的膜必须很薄和均匀，当需要高放大倍数时，可采用碳膜作为支持膜。为获得更清晰的图像，可进行染色处理。
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4楼2009-06-18 21:10:57
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