版块导航: 正在加载中...

登录注册

应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜

>论坛更新日志 (4770)
>虫友互识 (1484)
>考研 (1281)
>导师招生 (931)
>文献求助 (214)
>硕博家园 (88)
>休闲灌水 (59)
>考博 (56)
>博后之家 (51)
>论文投稿 (41)
>基金申请 (37)
>教师之家 (28)
>数学 (23)
>找工作 (17)
>科研资料 (16)
>绿色求助(高悬赏) (16)

返回列表

dingyang41

铁虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 17
帖子: 9
在线: 3.9小时
虫号: 15032272
注册: 2019-05-06
专业: 光学和光电子材料

[交流] ALD尤其是PEALD相关机理已有1人参与

各位大佬，哪位朋友能给推荐两文献或者专著介绍ALD机理的啊，比如说前驱体流量对成膜的影响啊等等的……现在看网上的相关信息感觉讲得都太浅了，都是面上泛泛的信息……感谢……

发自小木虫IOS客户端

回复此楼

» 猜你喜欢

济南大学国家优青课题组 2026 调剂招生来啦已经有0人回复
武汉纺织大学_化学院官方调剂群-院士团队招生-学生自由度高发展好-欢迎各位同学已经有0人回复
金属材料论文润色/翻译怎么收费? 已经有255人回复
西华大学化学调剂有名额已经有0人回复
上海应用技术大学招生调剂研究生已经有8人回复
南京晓庄学院绿色能源材料团队招生已经有0人回复
南京晓庄学院绿色能源材料团队招生已经有0人回复
北方工业大学储能技术-02电化学储能与氢能方向招收2026级二次调剂学生已经有0人回复

1楼 2020-01-02 11:33:50

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

光棍9527

新虫 (小有名气)

应助: 2 (幼儿园)
金币: 876.2
散金: 10
红花: 2
帖子: 261
在线: 48.6小时
虫号: 1870983
注册: 2012-06-27
专业: 材料物理化学

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

推荐两本书《原子层沉积技术原理与应用》南京大学李爱东编著。《等离子体科学技术及其在工业中的应用》北京印刷学院陈强编著。都是国内ALD领域的大佬

发自小木虫Android客户端

赞一下