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ALD尤其是PEALD相关机理已有1人参与
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各位大佬，哪位朋友能给推荐两文献或者专著介绍ALD机理的啊，比如说前驱体流量对成膜的影响啊等等的……现在看网上的相关信息感觉讲得都太浅了，都是面上泛泛的信息……感谢…… 发自小木虫IOS客户端 |
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推荐两本书《原子层沉积技术原理与应用》南京大学李爱东编著。《等离子体科学技术及其在工业中的应用》北京印刷学院 陈强编著。都是国内ALD领域的大佬 发自小木虫Android客户端 |
2楼2020-03-19 21:06:21