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求助大家，硝酸氧化、热氧化n型晶硅，硅的少子寿命不升反降，这会是什么原因呢 已有1人参与
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大家好，本人目前研一，我用浓度为65％-68％的硝酸氧化n型晶硅，尝试过用110℃、115℃、120℃、130℃油浴硝酸加热n型晶硅10-30min，清洗后的裸硅少子寿命用少子寿命测量仪WT2000PV测得为20多μs，但是以上温度氧化后测得的硅片的少子寿命反而均降低为2点多μs。 也用过管式炉做热氧化，氧化温度为500℃，时间为30min，也是2点多μs。 我向我的老师反应后，他表示我的硝酸氧化温度设定得太高，我按照已有的专利降低为65℃、氧化10min，少子寿命更是降低为1.7多μs；今天也尝试了专利的混酸氧化法:68％硝酸与98％硫酸体积比3:1在室温下氧化4min，得到的少子寿命也是1.7μs。 实验已经做了十几次，到现在还是没有一点进展，我也不知道问题出在了哪里，请求大家能给我一些指点，让我能够安心过个好年 发自小木虫Android客户端 |
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