| 查看: 978 | 回复: 1 | ||
[求助]
求助大家，硝酸氧化、热氧化n型晶硅，硅的少子寿命不升反降，这会是什么原因呢 已有1人参与
|
|
大家好，本人目前研一，我用浓度为65％-68％的硝酸氧化n型晶硅，尝试过用110℃、115℃、120℃、130℃油浴硝酸加热n型晶硅10-30min，清洗后的裸硅少子寿命用少子寿命测量仪WT2000PV测得为20多μs，但是以上温度氧化后测得的硅片的少子寿命反而均降低为2点多μs。 也用过管式炉做热氧化，氧化温度为500℃，时间为30min，也是2点多μs。 我向我的老师反应后，他表示我的硝酸氧化温度设定得太高，我按照已有的专利降低为65℃、氧化10min，少子寿命更是降低为1.7多μs；今天也尝试了专利的混酸氧化法:68％硝酸与98％硫酸体积比3:1在室温下氧化4min，得到的少子寿命也是1.7μs。 实验已经做了十几次，到现在还是没有一点进展，我也不知道问题出在了哪里，请求大家能给我一些指点，让我能够安心过个好年 发自小木虫Android客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
材料371求调剂
已经有4人回复
-
材料专硕288分求调剂 一志愿211
已经有3人回复
-
279求调剂
已经有4人回复
-
312求调剂
已经有5人回复
-
工科0856专硕化学工程269能调剂吗
已经有5人回复
-
420求调剂
已经有3人回复
-
282分材料专业求调剂院校
已经有22人回复
-
0857 资源与环境 285分
已经有3人回复
-
标题:捡漏预警|08工科/09农学调剂!英语要求低，过线即有机会!
已经有12人回复
-
一志愿安徽大学材料工程专硕313分，求调剂的学校
已经有8人回复
2楼2021-02-23 21:16:38
