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如何用XRD表征膜厚？ 已有2人参与
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看到文献中说用low-angle x-ray diffraction（小角度x射线衍射）表征膜厚。想知道这个是不是只需要将狭缝更换为窄狭缝，测量角度选择小角度就可以？ |
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