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RM美凌格

新虫 (正式写手)

[求助] 如何用XRD表征膜厚? 已有2人参与

看到文献中说用low-angle x-ray diffraction(小角度x射线衍射)表征膜厚。想知道这个是不是只需要将狭缝更换为窄狭缝,测量角度选择小角度就可以?
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happyever83

禁虫 (职业作家)

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2楼2019-12-17 13:33:32
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juloong

木虫 (职业作家)

X射线衍/散射测试

【答案】应助回帖

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XRR可以表征厚度
3楼2019-12-17 16:01:27
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55楠楠自语

新虫 (初入文坛)

用XRR可以测厚度,2th一般6度就可以,不过这个和xrd是不一样的操作

发自小木虫Android客户端
人类的悲欢并不相通。
4楼2020-01-06 19:54:53
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huangxun12

新虫 (小有名气)


5楼2020-01-09 14:37:32
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L12345K

禁虫 (初入文坛)

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6楼2020-01-20 18:50:09
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