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如何用XRD表征膜厚？ 已有2人参与
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| 看到文献中说用low-angle x-ray diffraction（小角度x射线衍射）表征膜厚。想知道这个是不是只需要将狭缝更换为窄狭缝，测量角度选择小角度就可以？ |
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happyever83 
专家顾问
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2楼2019-12-17 13:33:32
juloong
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X射线衍/散射测试
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6楼2020-01-20 18:50:09
