| 查看: 15996 | 回复: 874 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[商家供应]
扫描电镜分析样品表面的深度是多少
|
||
|
最近，有飞纳电镜用户询问关于电子束分析样品时可以穿透样品的深度的问题，这里小编将为大家详细介绍一下。 扫描电镜是利用聚焦电子束进行微区样品表面形貌和成分分析，电子从发射源（灯丝）经光路系统最终到达样品表面，电子束直径可到 10 nm 以下，场发射电镜的聚集电子束直径会更小。 聚焦电子束到达样品表面会激发出多种物理信号，包括二次电子（SE），背散射电子（BSE），俄歇电子（AE）、特征 X 射线（X-ray）、透射电子（TE）等。 • 二次电子 信号主要来自样品表面，其深度范围 10 nm ，成像具有较高分辨率，能够很好的反映样品形貌特征。 • 背散射电子 是入射电子被样品原子核反弹回来的部分电子，电子能量较高，信号深度范围可到 2 μm。 • X 射线 可以从样品较深的位置出射，其深度范围可到 5 μm。 图1 不同样品信号深度 聚焦电子束按一定方向入射到样品上，电子会受到材料中晶体位场和原子库仑场作用，其运动方向发生改变，称散射现象，且该过程是随机过程。 入射电子在样品内部的散射轨迹可以用 Monte Carlo 电子轨迹模型进行模拟。聚焦电子束与样品的作用区的形状类似水滴形状。根据 Monte Carlo 电子轨迹模型可以推导出入射电子最大穿透深度 H。 H = 0.0019 (A/Z)^1.63 E0^1.71 / ρ 其中 A 为样品原子量，Z 为样品原子序数，E0 为入射电子能量（单位 KeV），ρ 为样品密度。 图2 电子束与样品作用区域模拟图 聚焦电子束与样品作用区域的大小主要与样品原子序数、电镜加速电压和电子束入射角度有关。 1) 样品原子序数 随原子序数增大，最大穿透深度降低。 如下图所示，当扫描电镜加速电压固定，随着样品原子序数增加，其作用区域不断减小。随原子序数增大，入射电子越容易散射，更容易偏离起始方向，相互作用区域会减少，最大穿透深度也降低。 图3 原子序数对相互作用区域的影响 2) 电镜加速电压 随着加速电压增大，最大穿透深度增加。 如下图所示，对同一种材料，随着加速电压增加（5~25kV），其作用区域不断变大。分别采用 5kV、10kV、15kV，利用背散射探头观察碳材料，5kV 下样品表面细节更丰富，15kV 样品形貌有明显穿透感。 加速电压变大，入射电子的能量也增加，电子的穿透深度变深，电子轨迹在样品表面变化不大，随着电子穿透深度增加和多次散射发生，入射电子方向也发生变化，作用区域也变大。 图4 加速电压对相互作用区域的影响 图5 背散射图像，不同加速电压下的碳材料形貌 3) 电子束入射角度 入射角度增大，作用区域越小。 入射电子与样品作用区域形状类似水滴，当样品表面不平或发生倾斜时，电子束作用区域亦会受到影响。 图6 入射电子束角度 |
回复此楼» 猜你喜欢
有多少人是今天查系统知道结果的？
已经有16人回复
-
系统查不到
已经有10人回复
-
基金不中，共勉
已经有3人回复
-
怎么查啊
已经有5人回复
-
范进中举一文的中心思想
已经有10人回复
-
我不理解！
已经有13人回复
-
2026年的国家社科基金项目通讯评审的新规则与新动向、新挑战
已经有9人回复
-
2026国自然函评费到账
已经有25人回复
-
2026年8月25日国自然放榜前突然收到列入评审专家邮件，有关系吗？
已经有28人回复
-
能否退出参与的面上项目解除限项
已经有26人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
面上中啦
+2/175
-
散点金币，祝大家好运
+1/162
-
面上中了，与大家共勉， 一点点小心得，可私信分享
+5/145
-
有幸中面上，特来还愿
+5/130
-
面上中了
+1/63
-
面上已中，感谢大家。
+1/55
-
散金感谢小木虫
+1/46
-
材料微缺陷表征之正电子湮没寿命谱
+1/42
-
悉尼科技大学（QS 第87）数据科学/AI招收2027年秋季入学全奖及CSC博士生
+1/26
-
今年国基没中，有点难过，但生活还要继续
+1/16
-
西南交通大学高速列车服役安全与冲击防护创新研究团队招收2027级硕士研究生
+1/13
-
北京理工大学数据流体团队诚聘博士后
+1/11
-
项目助理招聘启事
+1/10
-
香港城市大学分子电子学方向招收2027年秋季入学博士生
+1/8
-
深圳大学何传新课题组诚聘博士后、（副）研究员
+1/6
-
中科院大连化学物理研究所 招聘 催化剂研发方向 科研助理 2名
+1/4
-
2027直博及统招“申请-考核”制博士招生 | 广州国家实验室-中山大学 谢志课题组
+1/4
-
【科研实践合作】邀请老师带学生完成一次严谨的科学表达
+1/2
-
新审查指南施行半年，AI方向的专利申请是不是更看"技术味"了？
+1/2
-
量子物理团队招收博士生与博士后
+1/1
xpkl1342
新虫 (知名作家)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2189.3
- 散金: 4991
- 帖子: 5116
- 在线: 462.5小时
- 虫号: 23712933
- 注册: 2020-10-11
- 专业: 细胞生物学
628楼2026-08-16 22:55:37
2楼2019-12-13 14:13:18
bsese
至尊木虫 (文坛精英)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 39338.6
- 散金: 520
- 红花: 165
- 沙发: 1
- 帖子: 41601
- 在线: 314.1小时
- 虫号: 3179688
- 注册: 2014-05-04
- 性别: GG
- 专业: 星系和类星体
祝好！！祝好运连连！！5楼2019-12-14 16:04:45
8楼2019-12-14 21:32:20
