| 查看: 3500 | 回复: 33 | ||
| 【有奖交流】积极回复本帖子，参与交流，就有机会分得作者 台式电镜 的 76 个金币 ，回帖就立即获得 1 个金币，每人有 1 次机会 | ||
[商家供应]
扫描电镜分析样品表面的深度是多少
|
||
|
最近，有飞纳电镜用户询问关于电子束分析样品时可以穿透样品的深度的问题，这里小编将为大家详细介绍一下。 扫描电镜是利用聚焦电子束进行微区样品表面形貌和成分分析，电子从发射源（灯丝）经光路系统最终到达样品表面，电子束直径可到 10 nm 以下，场发射电镜的聚集电子束直径会更小。 聚焦电子束到达样品表面会激发出多种物理信号，包括二次电子（SE），背散射电子（BSE），俄歇电子（AE）、特征 X 射线（X-ray）、透射电子（TE）等。 • 二次电子 信号主要来自样品表面，其深度范围 10 nm ，成像具有较高分辨率，能够很好的反映样品形貌特征。 • 背散射电子 是入射电子被样品原子核反弹回来的部分电子，电子能量较高，信号深度范围可到 2 μm。 • X 射线 可以从样品较深的位置出射，其深度范围可到 5 μm。 图1 不同样品信号深度 聚焦电子束按一定方向入射到样品上，电子会受到材料中晶体位场和原子库仑场作用，其运动方向发生改变，称散射现象，且该过程是随机过程。 入射电子在样品内部的散射轨迹可以用 Monte Carlo 电子轨迹模型进行模拟。聚焦电子束与样品的作用区的形状类似水滴形状。根据 Monte Carlo 电子轨迹模型可以推导出入射电子最大穿透深度 H。 H = 0.0019 (A/Z)^1.63 E0^1.71 / ρ 其中 A 为样品原子量，Z 为样品原子序数，E0 为入射电子能量（单位 KeV），ρ 为样品密度。 图2 电子束与样品作用区域模拟图 聚焦电子束与样品作用区域的大小主要与样品原子序数、电镜加速电压和电子束入射角度有关。 1) 样品原子序数 随原子序数增大，最大穿透深度降低。 如下图所示，当扫描电镜加速电压固定，随着样品原子序数增加，其作用区域不断减小。随原子序数增大，入射电子越容易散射，更容易偏离起始方向，相互作用区域会减少，最大穿透深度也降低。 图3 原子序数对相互作用区域的影响 2) 电镜加速电压 随着加速电压增大，最大穿透深度增加。 如下图所示，对同一种材料，随着加速电压增加（5~25kV），其作用区域不断变大。分别采用 5kV、10kV、15kV，利用背散射探头观察碳材料，5kV 下样品表面细节更丰富，15kV 样品形貌有明显穿透感。 加速电压变大，入射电子的能量也增加，电子的穿透深度变深，电子轨迹在样品表面变化不大，随着电子穿透深度增加和多次散射发生，入射电子方向也发生变化，作用区域也变大。 图4 加速电压对相互作用区域的影响 图5 背散射图像，不同加速电压下的碳材料形貌 3) 电子束入射角度 入射角度增大，作用区域越小。 入射电子与样品作用区域形状类似水滴，当样品表面不平或发生倾斜时，电子束作用区域亦会受到影响。 图6 入射电子束角度 |
回复此楼» 猜你喜欢
材料调剂
已经有4人回复
-
面上模板改不了页边距吧？
已经有6人回复
-
307求调剂
已经有6人回复
-
304求调剂
已经有5人回复
-
317一志愿华南理工电气工程求调剂
已经有8人回复
-
272求调剂
已经有3人回复
-
化工专硕348，一志愿985求调剂
已经有6人回复
-
292求调剂
已经有3人回复
-
290求调剂
已经有6人回复
-
295求调剂
已经有5人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
希望文章能接收
+1/281
-
2026时光标本=已经注册了 5608 天，合计 16 年
+1/127
-
澳大利亚昆士兰大学化工学院吕妙强课题组招收项目支持的全奖博士生2名
+1/81
-
26国自然面上，大家是否还写研究方案？
+1/70
-
南通大学生物医药方向国家级人才团队招聘教师
+3/56
-
【博士招生】北方工业大学招收机械工程方向申请考核制博士
+1/38
-
青岛科技大学2026年高分子材料方向科研助理招聘
+1/32
-
算法实习生招聘（驻地郑州，可提供实习证明、转正机会）
+1/20
-
深圳90理工男找FOR女
+1/17
-
26届计算机、电子信息类、电科、控制、通信考研T j信息pp骏：74+08+76+6+20/
+1/14
-
温州大学李新华教授课题组2026年招收硕士研究生信息
+1/8
-
深圳理工大学刘鑫课题组高薪招聘博士后
+1/6
-
香港科技大学 招生 2026 Fall全奖博士 -- 机械/电子/材料
+1/6
-
26届计算机、电子信息类、电科、控制、通信考研T j信息pp骏：74+08+76+6+20？
+1/4
-
【科研助理招聘-北京理工大学-集成电路与电子学院-国家杰青团队】
+1/2
-
五邑大学谢锋课题组2026硕士招生
+2/2
-
英国南安普顿大学招博后+博士（微流控，分子动力学）
+1/1
-
攀钢研究院2026年招聘（央企，钒钛国家重点实验室）
+1/1
-
陕西科技大学招生学术博士生1名(锂钠离子电池/光电催化/环境功能材料/热电材料)
+1/1
-
大连理工大学 蒋孟男课题组（国家级高层次青年人才）诚招博士后/科研助理
+1/1
2楼2019-12-13 14:13:18
★
台式电镜(金币+1): 谢谢参与
台式电镜(金币+1): 谢谢参与
 |
3楼2019-12-13 14:33:22
★
台式电镜(金币+1): 谢谢参与
台式电镜(金币+1): 谢谢参与
 |
4楼2019-12-14 15:06:06
bsese
至尊木虫 (文坛精英)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 39338.6
- 散金: 520
- 红花: 165
- 沙发: 1
- 帖子: 41601
- 在线: 314.1小时
- 虫号: 3179688
- 注册: 2014-05-04
- 性别: GG
- 专业: 星系和类星体
5楼2019-12-14 16:04:45
★
台式电镜(金币+1): 谢谢参与
台式电镜(金币+1): 谢谢参与
|
|
6楼2019-12-14 18:05:49
★
台式电镜(金币+1): 谢谢参与
台式电镜(金币+1): 谢谢参与
| · |
7楼2019-12-14 19:55:44
8楼2019-12-14 21:32:20
9楼2019-12-14 22:38:16
★
台式电镜(金币+1): 谢谢参与
台式电镜(金币+1): 谢谢参与
|
|
10楼2019-12-14 23:17:29
