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柠檬草酸绿

银虫 (小有名气)

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[求助] 硅片上蒸镀Au退火温度多少？

有没有人在硅片上蒸镀Au,大概100nm这样，想问一下为了得到较好的111面，退火温度和时间应该如何设置呢？

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1楼 2019-11-27 09:48:29

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银虫 (小有名气)

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引用回帖:

2楼: Originally posted by MEMSlee at 2019-11-27 10:09:48
400镀可以试一下

400度大概退火多久呢？

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3楼2019-11-27 11:48:29

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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MEMSlee

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400镀可以试一下

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2楼2019-11-27 10:09:48

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