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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 硅片上蒸镀Au退火温度多少？
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柠檬草酸绿

银虫 (小有名气)

[求助] 硅片上蒸镀Au退火温度多少？

有没有人在硅片上蒸镀Au,大概100nm这样，想问一下为了得到较好的111面，退火温度和时间应该如何设置呢？
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1楼 2019-11-27 09:48:29
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MEMSlee

捐助贵宾 (著名写手)
400镀可以试一下

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2楼2019-11-27 10:09:48
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柠檬草酸绿

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by MEMSlee at 2019-11-27 10:09:48
400镀可以试一下

400度大概退火多久呢？

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3楼2019-11-27 11:48:29
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