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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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柠檬草酸绿

银虫 (小有名气)

[求助] 硅片上蒸镀Au退火温度多少?

有没有人在硅片上蒸镀Au,大概100nm这样,想问一下为了得到较好的111面,退火温度和时间应该如何设置呢?
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MEMSlee

捐助贵宾 (著名写手)


2楼2019-11-27 10:09:48
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柠檬草酸绿

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by MEMSlee at 2019-11-27 10:09:48
400镀可以试一下

400度大概退火多久呢?

发自小木虫Android客户端
3楼2019-11-27 11:48:29
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