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liufangyang1984

银虫 (正式写手)

[交流] 求助晶体、薄膜牛人

晶体牛人指点一下:
       多晶薄膜材料的内应力与表面粗糙度有关系么?
       如果有,大概是怎么样的关系?
       谢谢了
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wangkb0428

金虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
比较前沿的科学领域啊,路过,帮你顶了
事缓则圆,戒骄戒躁
2楼2009-06-10 10:16:21
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liufangyang1984

银虫 (正式写手)

呵呵

呵呵 谢谢  我本科不是搞物理的
很多东西还不太明白, 多向大家学习了
3楼2009-06-10 10:20:33
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BUSKIN

木虫 (小有名气)


waiy2001(金币+1,VIP+0): 6-14 10:15
当然是有的 但具体考虑各个体系是会有不一样 比如多晶膜,单晶膜和取向膜 得看你想做什么了
4楼2009-06-10 10:42:20
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liufangyang1984

银虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by BUSKIN at 2009-6-10 10:42:
当然是有的 但具体考虑各个体系是会有不一样 比如多晶膜,单晶膜和取向膜 得看你想做什么了

恩 我做的是多晶的c轴取向ZnO薄膜,实验结果发现薄膜的内应力的变化与表面粗糙度的变化趋势一致,但是又说不清是为什么?  嘿嘿
5楼2009-06-10 20:48:46
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solgeltech

银虫 (小有名气)


waiy2001(金币+1,VIP+0): 6-14 10:15
晶粒越大,粗糙度就大,内应力就小;
反之,晶粒越小,粗糙度就小,内应力就大。

仅供参考!
镍酸镧氧化物 铁电薄膜溶液 铁酸铋 http://yuantek.admindiy.cn www.yuanteksolgel.com
6楼2009-06-11 15:50:04
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liufangyang1984

银虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by solgeltech at 2009-6-11 15:50:
晶粒越大,粗糙度就大,内应力就小;
反之,晶粒越小,粗糙度就小,内应力就大。

仅供参考!

恩 谢谢  我做的薄膜比较薄 25-55nm 表面粗糙度差别比较大,发现RMS大的薄膜内应力也比较大     和你说的好像是相反的
7楼2009-06-12 11:35:27
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neves

木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by liufangyang1984 at 2009-6-12 11:35:


恩 谢谢  我做的薄膜比较薄 25-55nm 表面粗糙度差别比较大,发现RMS大的薄膜内应力也比较大     和你说的好像是相反的

我想请教一下楼主,你的内应力大笑怎么来确定的啊?谢谢啊
8楼2009-06-14 00:05:26
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zdliang83

木虫 (小有名气)

我做的是c轴取向的  内应力利用xrd就可以分析的啊
9楼2009-06-14 14:32:00
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wenyun0876

木虫 (正式写手)

老木虫

肯定有。粗糙度不同,膜厚也不同,其内应力自然不同。
胸无块垒心常泰,腹有诗书气自华!
10楼2009-06-15 10:47:02
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