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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 晶体解析 » 求助晶体、薄膜牛人
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liufangyang1984

银虫 (正式写手)

[交流] 求助晶体、薄膜牛人

晶体牛人指点一下：
       多晶薄膜材料的内应力与表面粗糙度有关系么？
       如果有，大概是怎么样的关系？
       谢谢了
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1楼 2009-06-10 10:14:14
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wangkb0428

金虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
比较前沿的科学领域啊，路过，帮你顶了
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事缓则圆，戒骄戒躁
2楼2009-06-10 10:16:21
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liufangyang1984

银虫 (正式写手)

呵呵

呵呵 谢谢  我本科不是搞物理的
很多东西还不太明白， 多向大家学习了
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3楼2009-06-10 10:20:33
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BUSKIN

木虫 (小有名气)
★
waiy2001(金币+1,VIP+0): 6-14 10:15
当然是有的 但具体考虑各个体系是会有不一样 比如多晶膜，单晶膜和取向膜 得看你想做什么了
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4楼2009-06-10 10:42:20
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liufangyang1984

银虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by BUSKIN at 2009-6-10 10:42:
当然是有的 但具体考虑各个体系是会有不一样 比如多晶膜，单晶膜和取向膜 得看你想做什么了

恩 我做的是多晶的c轴取向ZnO薄膜，实验结果发现薄膜的内应力的变化与表面粗糙度的变化趋势一致，但是又说不清是为什么？  嘿嘿
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5楼2009-06-10 20:48:46
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solgeltech

银虫 (小有名气)
★
waiy2001(金币+1,VIP+0): 6-14 10:15
晶粒越大，粗糙度就大，内应力就小；
反之，晶粒越小，粗糙度就小，内应力就大。

仅供参考！
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镍酸镧氧化物 铁电薄膜溶液 铁酸铋 http://yuantek.admindiy.cn ｗｗｗ.ｙｕａｎｔｅｋｓｏｌｇｅｌ.ｃｏｍ
6楼2009-06-11 15:50:04
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liufangyang1984

银虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by solgeltech at 2009-6-11 15:50:
晶粒越大，粗糙度就大，内应力就小；
反之，晶粒越小，粗糙度就小，内应力就大。

仅供参考！

恩 谢谢  我做的薄膜比较薄 25-55nm 表面粗糙度差别比较大，发现RMS大的薄膜内应力也比较大     和你说的好像是相反的
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7楼2009-06-12 11:35:27
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neves

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by liufangyang1984 at 2009-6-12 11:35:


恩 谢谢  我做的薄膜比较薄 25-55nm 表面粗糙度差别比较大，发现RMS大的薄膜内应力也比较大     和你说的好像是相反的

我想请教一下楼主，你的内应力大笑怎么来确定的啊？谢谢啊
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8楼2009-06-14 00:05:26
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zdliang83

木虫 (小有名气)
我做的是c轴取向的  内应力利用xrd就可以分析的啊
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9楼2009-06-14 14:32:00
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wenyun0876

木虫 (正式写手)

老木虫
肯定有。粗糙度不同，膜厚也不同，其内应力自然不同。
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胸无块垒心常泰，腹有诗书气自华！
10楼2009-06-15 10:47:02
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