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台式电镜

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[交流] 扫描电镜低加速电压成像

扫描电镜的加速电压与束流强度对成像有着决定性的影响。

通常来说，操作人员更愿意使用更高的加速电压去成像，当加速电压较大时，信噪比更好，分辨率更高，更容易得到“清晰”的图像。但低加速电压却是当今扫描电镜的发展趋势，这是什么原因呢？今天，这篇文章将围绕“低加速电压成像”展开讨论。

电子束与样品相互作用将会激发出多种电子信号，包括背散射电子（BSE）、二次电子（SE）等。二次电子（SE）主要表征样品的表面形貌信息，激发深度一般低于 10nm，主要表征样品的表面形貌信息。

当使用较高加速电压去观测样品，二次电子来自样品表面 5~10nm 范围，最表层的形貌被削弱，甚至掩盖；而用低加速电压观测样品时，由于入射电子束与样品的相互作用小，信号更多来源于材料的表面，加速电压越低，观测的形貌效果越接近表层，且低加速电压对样品的损伤也较小。

现在，通过几组照片，让大家更好地理解低加速电压成像的优势：