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melc576

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】北京哪里有椭偏仪啊?想测一个薄膜厚度

想测一个纳米级薄膜的厚度,请教下哪里可以测量?
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GrasaVampiro

专家顾问 (职业作家)

微信XGBerlin

优秀版主


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
去半导体习惯的所或者工厂问问,应该有的
从此不问江湖事
5楼2009-06-09 21:20:25
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coldice

禁虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
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3楼2009-06-09 15:53:51
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memser


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
北京没有,上海我们这倒有一台法国的SE5
4楼2009-06-09 18:19:41
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vivilee3609

铜虫 (初入文坛)

邮寄过来吧


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
北京你问问清华或者半导体所吧,理论上他们应该有的。
我们这有台SPPRA GES-5E,光谱型椭偏仪(变波长),光谱范围190~2100nm,请提供样品信息,看看可否帮你完成。(武汉)


p.s.
光谱椭偏仪

GES5 可见光波段全自动连续光谱式连续角度可变光谱,专门为先进薄膜表征的研发应用设计的高分辨可变角度光谱式椭偏仪(旋转起偏器型).可分析测试膜层、膜堆的厚度及折射率。
光源 : Xenon lamp: 75W, 短弧放电, 高亮度, 平均无故障工作时间>2000小时

高精度测角器平台
高精度的起偏臂和检偏臂附在由一个带双中空王冠的测角器平台
入射角:7到90度
定位精度:±0.01度
4000步/度的分辨率:0.0025度
可以在直线状态下进行设备的自动标定
样品台
标准样品台可以XY象倾斜调整与垂直方向(Z)的移动
标准样品尺寸:最大至¢200mm,300mm可选
测量区域位于样品台的中心
标准光点尺寸

光斑直径可以由孔阑条件变化为1-5mm
典型尺寸:3mm X 12mm(75°入射角)
型号:SOPRA GES-5E
6楼2009-06-10 15:29:40
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