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melc576木虫 (正式写手)
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[交流]
【求助】北京哪里有椭偏仪啊？想测一个薄膜厚度
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| 想测一个纳米级薄膜的厚度，请教下哪里可以测量？ |
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 椭偏测量 |
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本帖内容被屏蔽 |
3楼2009-06-09 15:53:51
4楼2009-06-09 18:19:41
5楼2009-06-09 21:20:25
邮寄过来吧
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北京你问问清华或者半导体所吧，理论上他们应该有的。 我们这有台SPPRA GES－5E,光谱型椭偏仪（变波长），光谱范围190～2100nm，请提供样品信息，看看可否帮你完成。（武汉） p.s. 光谱椭偏仪 GES5 可见光波段全自动连续光谱式连续角度可变光谱,专门为先进薄膜表征的研发应用设计的高分辨可变角度光谱式椭偏仪（旋转起偏器型）.可分析测试膜层、膜堆的厚度及折射率。 光源 : Xenon lamp: 75W, 短弧放电, 高亮度, 平均无故障工作时间>2000小时 高精度测角器平台 高精度的起偏臂和检偏臂附在由一个带双中空王冠的测角器平台 入射角：7到90度 定位精度:±0.01度 4000步/度的分辨率：0.0025度 可以在直线状态下进行设备的自动标定 样品台 标准样品台可以XY象倾斜调整与垂直方向（Z）的移动 标准样品尺寸：最大至￠200mm，300mm可选 测量区域位于样品台的中心 标准光点尺寸 光斑直径可以由孔阑条件变化为1-5mm 典型尺寸：3mm X 12mm（75°入射角） 型号：SOPRA GES-5E |
6楼2009-06-10 15:29:40
